白光干涉儀是一種基于寬帶光源的精密測(cè)量?jī)x器，其核心原理在于利用低相干光的干涉特性，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面形貌或薄膜厚度的高精度、非接觸測(cè)量。與單色光干涉不同，白光干涉因其寬光譜特性，使得干涉現(xiàn)象僅在光程差極小范圍內(nèi)發(fā)生，這一特性被廣泛應(yīng)用于微觀形貌檢測(cè)、光學(xué)薄膜表征及微結(jié)構(gòu)分析等領(lǐng)域。其關(guān)鍵技術(shù)正是基于光譜干涉模式的生成與解析。

　　一、光譜干涉的物理基礎(chǔ)

　　當(dāng)一束白光（寬帶光源）通過(guò)分束鏡分為兩束，一束射向參考鏡，另一束射向待測(cè)樣品后，兩束光重新匯合并發(fā)生干涉。由于白光相干長(zhǎng)度極短（通常僅為微米量級(jí)），干涉條紋僅在兩光路光程差接近零的極小區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)。這種干涉圖樣被光譜儀或攝像頭接收后，可分解為不同波長(zhǎng)下的光強(qiáng)分布，形成光譜干涉信號(hào)。每個(gè)波長(zhǎng)成分的干涉可表示為：

　　I(k,Δz) = I0(k)[1+γ(k) cos(2kΔz+?0]

　　其中，k=2π/λ為波數(shù)，Δz為光程差，γ(k)為光譜調(diào)制函數(shù)，?0為初相位。該公式表明，干涉信號(hào)隨波數(shù)和光程差周期性變化，形成頻域上的振蕩模式。

　　二、干涉信號(hào)的解碼與處理

　　光譜干涉模式的核心信息蘊(yùn)含于頻域的相位變化中。通過(guò)傅里葉變換或相位提取算法（如希爾伯特變換），可以從干涉光譜中解調(diào)出光程差信息。具體而言：

　　1.干涉包絡(luò)定位：在光程差掃描過(guò)程中，干涉信號(hào)僅在一小段范圍內(nèi)顯著出現(xiàn)，其包絡(luò)峰值對(duì)應(yīng)零光程差位置，從而確定樣品表面高度。

　　2.相位解析：通過(guò)對(duì)干涉光譜進(jìn)行相位展開(kāi)，可進(jìn)一步提高分辨率，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的精度測(cè)量。

　　這種方法的優(yōu)勢(shì)在于，無(wú)需機(jī)械掃描即可通過(guò)單次光譜采集獲取高度信息，特別適用于動(dòng)態(tài)或敏感樣品的測(cè)量。

　　三、技術(shù)優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用前景

　　白光干涉儀的光譜模式處理使其兼具高精度與高效率：一方面，寬光譜提供了豐富的頻域信息，提高了抗干擾能力和穩(wěn)定性；另一方面，無(wú)需縱向掃描即可實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量，適用于在線檢測(cè)和實(shí)時(shí)監(jiān)控。目前，該技術(shù)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、MEMS器件檢測(cè)、生物顯微鏡成像等領(lǐng)域。

　　未來(lái)，結(jié)合算法優(yōu)化（如深度學(xué)習(xí)用于相位解算）和新型光源（如超連續(xù)譜光源），光譜干涉技術(shù)將進(jìn)一步拓展其測(cè)量極限，為納米科學(xué)與工程提供更強(qiáng)有力的工具。

　　四、結(jié)語(yǔ)

　　白光干涉儀的光譜干涉模式原理，體現(xiàn)了光學(xué)測(cè)量中“以頻域解析空間信息”的巧妙思路。它不僅奠定了現(xiàn)代精密測(cè)量的基礎(chǔ)，也為多學(xué)科交叉研究提供了關(guān)鍵技術(shù)支持。從微觀形貌到薄膜厚度，光譜干涉之光，照亮了精密工程的無(wú)盡可能。